セミナー情報

電子顕微鏡は、材料やデバイス内部の微細構造を可視化し、特性評価や不具合解析に欠かせない分析手法です。本講座では、TEM（透過型電子顕微鏡）とSEM（走査型電子顕微鏡）の基礎原理を、像形成の仕組みや光学顕微鏡との違いを交えながらわかりやすく解説します。分解能やコントラストを左右する要因、試料作製などでおさえておきたいポイントなど、実務に直結する知識も整理します。さらに、材料組織の観察、界面構造の評価、微小欠陥の検出、元素分析による成分分布の把握など、分析現場で求められる応用例を紹介し、得られたデータの読み解き方を具体的に示します。加えて、低加速電圧観察、環境制御型顕微鏡、画像解析、3D観察など、近年の技術トレンドにも触れ、電子顕微鏡活用の広がりを展望します。