セミナー情報

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東レリサーチセンター
  • 2026年10月08日(木) 13:30-

【バルク体の力学特性評価(材料試験)】
材料の機械的特性評価は、設計・シミュレーションなどを行うための物性値の取得や材料の劣化現象の解明にも一助となります。 しかしながら、正確な物性値を得ることができなければ誤った結果が導かれてしまいます。本講座では、固体材料の機械特性の測定方法(引張・曲げ・圧縮などの静的材料試験)について解説し、各種測定事例と、近年機械特性評価の分野で利用されているデジタル画像相関法について紹介します。

【微小領域の力学特性評価(ナノインデンテーション)】
ナノインデンテーション法は、従来の硬さ試験の荷重・変位分解能を向上させた手法であり、薄膜や特定微細部位の機械特性評価方法として広く用いられています。近年では技術の進歩により、測定環境制御機能やAFM機能を活用したナノインデンテーション測定が行われるようになってきました。本講座では、基本原理や測定モードの解説と、各々の測定事例について紹介します。

キーワード
半導体デバイス,Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS)
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