セミナー情報

近年、ナノスケールでの材料評価ニーズの高まりに伴い、表面・界面の微細構造や物性を直接的に可視化できる走査型プローブ顕微鏡（SPM）の重要性が増している。SPMはAFM（原子間力顕微鏡）に代表される、探針と試料表面の相互作用を利用して高さや物性を測定する顕微鏡技術である。本講座では、市販AFM装置をベースに、SPMの基本構造や測定原理を体系的に整理するとともに、装置の要素技術、カンチレバー選定、前処理、測定パラメータの考え方を解説する。さらに、機械物性・電磁気物性・化学物性評価といった応用事例も紹介し、形状観察にとどまらないSPM活用の実践的理解を目的とする。

カリキュラム：
1.SPMの基礎（市販装置をベースとしたAFM）
(1)各種評価法と比較したAFMの特徴
(2)AFMの測定原理
(3)装置の構成と要素技術
(4)代表的な装置仕様と特徴
(5)カンチレバー（探針）の種類と選定基準
(6)試料前処理法（AFM測定用）
(7)測定パラメータの設定および最適化

2.SPMの応用（形状測定以外）
(1)機械物性
①弾性率マッピング
②ナノインデンテーションとの使い分け
(2)電気・磁気特性
①走査型容量顕微鏡（SCM）
②走査型インピーダンス顕微鏡（sMIM）
③導電性AFM（SSRM、TUNA等）
④ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）
⑤静電気力顕微鏡（EFM）、磁気力顕微鏡（MFM）
⑥圧電応答顕微鏡（PFM）
(3)化学物性・構造評価
①AFM-ラマン分光
②AFM-IR